Horiba 微小液體質(zhì)量流量計LF-F
質(zhì)量流量控制器LV-F
商品詳情
暢銷型號：LV-F20、LV-F30、LV-F40、LV-F50；LF-F20M-A、LF-F30M-A、LF-F40M-A
Horiba微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭載有世界上冷卻檢測方式的流量傳感器
特 征
· 通過采用數(shù)字回路，實現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。
· 可以進行微升以上的微小流量控制。
· 可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
· 超潔凈類型
選型要求：按以下規(guī)格確認(rèn)型號，并請?zhí)峁﹨?shù)：介質(zhì)名稱、量程、接口尺寸。
規(guī) 格
名 稱 | 質(zhì)量流量控制器 | ||||
型 號 | LV-F20 (PO/MO) | LV-F30 (PO/MO) | LV-F40 (PO/MO) | LV-F50 (PO/MO) | LV-F60 (PO/MO) |
全標(biāo)度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
檢測控制 范圍 | 5?100% F.S. | ||||
對象液體 種類*1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
液體 粘度*2 | 低于 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直線性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重復(fù)性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
響應(yīng)精度 | 3秒以內(nèi)(T98) | 2秒以內(nèi)(T98) | |||
使用環(huán)境 溫度*4 | 5?50℃(15?45℃精度的確保) | ||||
溫度影響 Span | ±0.1%F.S./℃ | ||||
工作差 壓值*5 | 0.05?0.3MPa | ||||
耐 壓 | 1MPa | ||||
壓力損失 | ー | ||||
流量設(shè)定 信號 | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
流量輸出 信號 | 模擬：0?5 VDC(*小負(fù)荷電阻2kΩ)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
驅(qū)動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏 規(guī) 格 | PO類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO類型：5×10-12Pa?m3/s (He) | ||||
接液部材質(zhì) | PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA MO類型：SUS316L，Ni | ||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 1/16”，1/8”卡套； | 1/8”SWL類型，1/8”VCR類型 | 1/4”SWL類型1/4”VCR類型 | ||
名 稱 | 質(zhì)量流量計 | ||||
型 號 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
全標(biāo)度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
檢測控制范圍 | 5?100% F.S. | ||||
對象液體種類*1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外 | ||||
液體粘度*2 | 不高于 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直線性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重復(fù)性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
響應(yīng)精度 | 3秒以內(nèi)(T98) | 2秒以內(nèi)(T98) | |||
使用環(huán)境溫度*4 | 5?50℃(15?45℃精度的確保) | ||||
溫度影響Span | ±0.1%F.S./℃ | ||||
工作差壓值值*5 | 不高于5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥) | ||||
耐壓 | 10MPa (視為流量計) | ||||
壓力損失 | 不高于 500Pa | ||||
流量設(shè)定信號 | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
流量輸出信號 | 模擬：0?5 VDC ；數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
驅(qū)動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏規(guī)格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材質(zhì) | SUS316L, Ni | ||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 1/16”，1/8”SWL類型，1/8”VCR類型 | 1/8”SWL類型，1/8”VCR類型 | 1/4”SWL類型1/4”VCR類型 | ||
*1：LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進行了流量校正(請預(yù)先指定所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發(fā)生變化時，請預(yù)先進行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端)安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到 *大值，0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請預(yù)先進行咨詢協(xié)商。
*3： 以SEMI E56-1296為準(zhǔn)。
*4： 進行測量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
