低成本模擬量熱式質(zhì)量流量控制器 SEC-E系列
暢銷(xiāo)型號(hào)：SEC-E40V、SEC-E50
日本horiba堀場(chǎng)/厚禮博品牌的SEC-E系列屬于低成本、模擬輸出型，現(xiàn)貨供應(yīng)。
概 要
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行**計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
特 征
· 適用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM（以N2為標(biāo)準(zhǔn)）
· 被廣泛的使用于全球的制造業(yè)，從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè)。
規(guī) 格
技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | 質(zhì)量流量控制器) | SEC-E40MK3 | SEC-E50MK3 |
質(zhì)量流量計(jì)) | SEF-E40(不帶控制） | SEF-E50（不帶控制） | |
適用氣體種類(lèi)*1 | 非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) | ||
氣體接觸部材質(zhì) | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 | ||
閥門(mén)型號(hào) | 非通電時(shí) 關(guān)閉 | ||
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
流量控制范圍 | 2?100% F.S. | ||
流量測(cè)量范圍 | 0?100% F.S. | ||
響應(yīng)速度 | 1秒以?xún)?nèi)(T98) | ||
流量精度 | ±1% F.S. | ||
直線性 | ±0.5% F.S. | ||
反復(fù)性 | ±0.2% F.S. | ||
工作差壓值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
使用壓力 | 300kPa(G)以下 | ||
耐 壓 | 1MPa(G)以下 | ||
外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | ||
使用環(huán)境溫度 | 5?50℃(精度的確保：15?35℃) | ||
流量設(shè)定信號(hào) | 0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S. | ||
流量輸出信號(hào) | 0?5VDC(*小負(fù)荷電阻2kΩ) | ||
驅(qū)動(dòng)電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 | 1/4SWL 類(lèi)型 | ||
