高溫應用質量流量控制器 SEC-8000 系列
商品詳情
高溫應用質量流量控制器 SEC-8000 系列
耐溫150℃，最大流量1050SLM，
概 要
SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀場/厚禮博品牌的特殊產品, 可以在高溫環境下工作, 實現超潔凈狀況下百萬分之一級別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復雜多變的半導體制程需求。 而HORIBA集團也為可以給客戶提供全系列的產品而感到驕傲。
特 征
·適用于高溫：可滿足150℃烘焙
·具備數字式流量計的高精度性能-高控制精度：±1.0% 設定流量.
·超快速響應
·超潔凈處理
·滿足RoHS 環境標準
特 征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環境中使用的質量流量控制器。
適用于高溫：可滿足150℃烘焙
產品陣容中有可滿足使用溫度的產品型號
超清潔類型：接氣部全不銹鋼構造
最適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
