HORIBA S48-BR221質(zhì)量流量控制器S48-BR/BM

HORIBA S48-BR221質(zhì)量流量控制器S48-BR/BM

HORIBA S48-BR/S48-BM系列型號(hào)

S48-BR221/S48-BM221/S48-BR211/S48-BM211

S48-BR111/S48-BM111/S48-BR121/S48-BM121

量程范圍：10SCCM-50SLM

HORIBA S48-BR/S48-BM系列質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn):

S48 質(zhì)量流量控制器采用 HORIBASTEC(日本)技術(shù)，在HORIBAPrecision Instruments(中國(guó))生產(chǎn)制造。HORIBASTEC 在流體技術(shù)和品質(zhì)方面研發(fā)有半個(gè)世紀(jì)之久，在廣泛的工業(yè)領(lǐng)域能夠?yàn)榭蛻籼峁┤轿坏闹С帧?/span>

任意角度安裝

S48模擬產(chǎn)品在設(shè)備的不同位置及角度安裝時(shí)，對(duì)氣體流量變化幾乎沒(méi)有影響，打破了傳統(tǒng)MFC的安裝條件限制，給用戶帶來(lái)便利。

高精度響應(yīng)快

S48模擬產(chǎn)品使用了先進(jìn)的多段線性調(diào)整技術(shù)，使流量控制精度更加精確實(shí)現(xiàn)良好的量程比。響應(yīng)時(shí)間1秒以內(nèi)，提高工藝與實(shí)驗(yàn)的水平和精度。

可自動(dòng)調(diào)零

質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))由于環(huán)境的變化和長(zhǎng)時(shí)間的使用，可能出現(xiàn)零點(diǎn)漂移的情況。為了得到更高的流量控制精度，需要對(duì)零點(diǎn)進(jìn)行修正。S48模擬產(chǎn)品具備自動(dòng)調(diào)零功能。當(dāng)零點(diǎn)偏移時(shí)，可以自動(dòng)調(diào)整零點(diǎn)。

S48-BR221質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品應(yīng)用

太陽(yáng)能:在氣相沉積/擴(kuò)散/晶體生長(zhǎng)等過(guò)程中精確控制氣體流量

真空鍍膜:薄膜沉積過(guò)程控制

環(huán)境監(jiān)測(cè):動(dòng)態(tài)稀釋/PM2.5顆粒物監(jiān)測(cè)/VOCs

光纖:MCVD/VAD/OVD

分析儀器:在氣體燃燒、載氣及氣體采樣過(guò)程中控制氣體流量

工業(yè)爐:火焰/燃燒控制/氣體混合

HORIBA S48-BR/S48-BM系列質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：