低成本質(zhì)量流量控制器S48/32
S48/32是horiba厚禮博的暢銷產(chǎn)品，流量從1sccm-50LPM，精度1%，電源有±15V和24V可選，輸出信號有4-20mA、0-5V可選。
質(zhì)量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制的設(shè)備。
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn) *高精度 *重復(fù)性好 *響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠 *低壓降
*操作使用方便，可任意位置安裝。
S48 32/HMT質(zhì)量流量控制器（流量計）
編號 | 項目 | S48 32/HMT |
1 | 流量規(guī)格 | (10,50,100,500)mL/min (0～1,5,10)L/min |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 |
4 | 安裝方向 | 任意 |
5 | 流量控制范圍 | 2%～100% |
6 | 流量測量范圍 | （0～100）% |
7 | 零點溫漂 | ±30mV（15℃～35℃） |
8 | 響應(yīng)時間 | 2s（設(shè)定值的±2% F.S） |
9 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃～50℃ |
10 | 精度保證溫度 | 15℃～35℃ |
11 | 精度 | ±1.0%F.S |
12 | 線性精度 | ±0.5%F.S |
13 | 重復(fù)性 | ±0.2%F.S |
14 | 工作壓差 | ＜5L/min(0.05～0.3)MPa ，5L/min～10L/min： (0.1～0.3)MPa |
15 | 耐壓 | 10MPa |
16 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s |
17 | 接觸氣體材料 | 橡膠密封：SUS316L、PTFE、Viton氟橡膠 |
18 | 管路接頭 | 1/4Swagelok,Φ6～Φ10 |
19 | 供電電源 | ±15VDC(±5%)。 +15V＜100mA,-15V＜150mA； |
20 | 設(shè)定信號 | ±15VDC：(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ |
21 | 流量輸出信號 | ±15VDC：(0～5)VDC 負(fù)載能力≤3mA |
22 | 電氣接頭 | D-SUB15 |
23 | 外形尺寸mm | 113(寬)×121（高）×32（厚） |
